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等離子清洗機原理
等離子體是物質的第四態,本質上是離子化的氣體。它由自由移動的電子、正離子及未電離的中性粒子(原子或分子)混合組成,宏觀上呈電中性,內部富含高活性的自由基、激發態粒子與光子,能量很高。


等離子清洗機正是利用此特性工作:通過射頻電源激發工藝氣體,使其電離產生低溫等離子體。這些高活性粒子隨后轟擊材料表面,通過物理濺射與化學反應,有效清除污染物或改變表面性質,從而實現清潔、活化、改性等目的。

應用領域:

產品特點:
u 智能交互界面:配備7寸彩色觸摸屏,支持中英文雙語操作,可實時監測與自動調節工藝參數,內置20組配方程序,工藝數據可存儲、可追溯。
u 可靠控制系統:采用PLC全程控制,支持手動與自動兩種工作模式,確保清洗過程穩定可靠。
u 雙向智能真空控制:系統可通過調節氣體流量或腔體壓力兩種模式精準控制真空壓力,工藝調控更靈活、更智能,滿足多樣化的精密處理需求。
u 精準氣體管理:搭載氣體浮子流量計或質量流量計,支持氧氣、氬氣、氮氣、氫氣及混合氣體等多種氣源,控制精度高。
u 潔凈防污設計:具備氣體返填吹掃功能,配備HEPA高效過濾器,有效防止二次污染。
u 優質材質結構:真空艙體可選316不銹鋼或石英材質,全真空管路系統均為316不銹鋼,耐腐蝕、無污染。
u 人性化操作設計:操作面板采用60°傾角設計,符合人體工學,界面友好、操作便捷;上控制下艙體結構緊湊,節省空間;前面板內凹設計,保護流量計與艙門不易受損。
u 高效穩定工藝:處理過程快速、均勻,重復性好,無污染;樣品處理溫度低,避免熱損傷與熱氧化。
u 周全安全保護:艙門開啟即自動斷電,并配備可控泄壓等多重防護機制,保障操作與樣品安全。
2025-12-26
2024-07-26
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